半導體行業(yè)的轉(zhuǎn)機？海德堡儀器公司收購Multiphoton Optics，開發(fā)3D光刻系統(tǒng)

導讀：隨著全球芯片的短缺，各大公司正在紛紛尋求新的技術來現(xiàn)有的危機，增材制造也是其中一個選項。

南極熊獲悉，2021年3月30日，Multiphoton Optics GmbH已正式成為Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH的全資子公司。本次收購代表了微結構生產(chǎn)和技術的結合，進一步強化了德國制造在激光系統(tǒng)領域的研究、開發(fā)和生產(chǎn)。此次合并還擴大了公司在微光學領域的市場地位。

△NanoFrazor Professional

即將擔任Multiphoton Optics首席執(zhí)行官的Benedikt Stender博士表示，海德堡儀器公司是理想的合作伙伴，合并將使客戶、員工和技術本身受益。利用海德堡儀器的全球網(wǎng)絡提高了MPO的知名度，使公司能夠開發(fā)雙光子聚合的新系統(tǒng)，并為越來越多的客戶提供支持。

△用NanoFrazor尖端制成的鋒利的垂直銀電極。精確控制到Pt的距離使原子絲能夠在高頻（100 MHz）和低壓（100 mV）下打開和關閉。

3D光刻與微光學領域的擴張

Multiphoton Optics（MPO）的員工現(xiàn)已成為激光光刻技術國際市場領導者之一的海德堡儀器家族的一員。海德堡儀器首席執(zhí)行官Konrad Roessler稱，MPO是雙光子光刻技術的先驅(qū)，已經(jīng)開發(fā)出了用于亞微米級的3D打印的高性能曝光系統(tǒng)。MPO縮小了傳統(tǒng)激光光刻技術之間的差距，本次收購將會進一步擴大公司在微光學和結構化表面領域的地位。

△Multiphoton Optics的無掩模3D光刻技術可在單個處理步驟中制造復雜的結構。SEM圖像示例性地顯示了為新穎的成像或照明應用生成透鏡系統(tǒng)的能力。

目前，MPO專門研究自由3D曲面表面和各種3D結構的生產(chǎn)，尤其著重于微光學。研究和開發(fā)重點主要放在雙光子聚合（TPP）的制造過程以及特定應用的軟件和硬件模塊上。海德堡儀器公司對MPO進一步開發(fā)3D光刻系統(tǒng)抱有很高的期望，而Multiphoton Optics將獲得新母公司的銷售支持、生產(chǎn)能力和全球服務網(wǎng)絡。

△使用NanoFrazor圖案化和剝離技術將高分辨率金屬頂柵準確地放置在InAs納米線的頂部。

海德堡儀器與半導體行業(yè)

海德堡儀器公司（HIMT）擁有1000多個已安裝的系統(tǒng)，是開發(fā)和生產(chǎn)高精度光刻系統(tǒng)和納米加工工具的領先國際廠商之一。HIMT系統(tǒng)已安裝在世界各地的工業(yè)和科學設施中。它們可用于有效的直接成像，以及用于多個領域的光掩模制造，包括半導體、量子計算、光子學、2D材料、IoT和許多相關的應用領域。海德堡儀器公司擁有超過35年的經(jīng)驗和高度敬業(yè)的開發(fā)人員，可提供針對微納米加工要求和特定客戶量身定制的復雜光刻解決方案。

△ULTRA半導體激光掩膜機

受疫情影響與日益緊張的國際局勢，全球的芯片短缺問題給國內(nèi)外電子工業(yè)領域造成了很大的打擊。南極熊曾在2021年3月31日曾探討過全球芯片短缺是否會影響3D打�。�http://m.lhkhtyz.com/thread-145526-1-1.html）。結論是，會影響，但同時3D打印技術或許也會成為解決方案中的一部分。例如，3DSystems正在試圖通過改進晶圓臺熱管理、歧管流體流優(yōu)化等手段來簡化、優(yōu)化電子制造。南極熊認為，本次的收購也同樣代表了增材制造技術向半導體制造業(yè)的挑戰(zhàn)。

△單個20nm AuNP的確定性組裝。a）單個20 nm AuNP陣列的SEM照片。b）具有不同聚集狀態(tài)的20nm AuNPs簇的SEM照片。

海德堡儀器在半導體領域內(nèi)有著豐富的經(jīng)驗。2019年，這家公司曾為中國光掩膜集團提供半導體激光掩模寫入器ULTRA。在2021年，公司的NanoFrazor Scholar熱掃描探針光刻系統(tǒng)成功安裝在了中國杭州西湖大學的鄭小睿博士的光電子納米芯片高級光刻實驗室（ALIEN）中。此外，海德堡儀器的NanoFrazor還在多項科研中作為重要工具提供技術支持。例如，中國南京大學的研究人員成功組裝尺寸小于20納米的功能性顆粒；蘇黎世聯(lián)邦理工學院和亞琛大學研究人員利用相變材料制成新型超表面。相信未來這家公司生產(chǎn)的儀器還會為更多科研團隊和整個半導體行業(yè)帶來更多新的納米電子器件。

△蘇黎世聯(lián)邦理工學院和亞琛大學研究人員利用相變材料制成新型超表面

關于Multiphoton Optics

Multiphoton Optics GmbH是從Fraunhofer-Institute硅酸鹽研究ISC獨立出來的公司，成立于2013年，總部位于維爾茨堡，是通過雙光子聚合（TPP）進行3D光刻的全球解決方案提供商。這種技術可以在微光學和微系統(tǒng)技術、光學互連、微力學和生物醫(yī)學工程中制造復雜的功能結構。

△NANOFRAZOR SCHOLAR

參考閱讀：

1. MERGER OF HEIDELBERG INSTRUMENTS AND MULTIPHOTON OPTICS
2. 全球芯片短缺會影響3D打印機嗎
3. CHINESE PHOTOMASK GROUP ORDERS SEMICONDUCTOR LASER MASKWRITER
4. REMOTE INSTALLATION RECORD FOR NANOFRAZOR
5. Deterministic Assembly of Single Sub‐20 nm FunctionalNanoparticles Using a Thermally Modified Template with a Scanning Nanoprobe
6. The Potential of Combining Thermal Scanning Probes andPhase‐Change Materials for Tunable Metasurfaces
7. RAPID PROTOTYPING OF NANOELECTRONIC DEVICES