半導(dǎo)體行業(yè)的轉(zhuǎn)機(jī)？海德堡儀器公司收購(gòu)Multiphoton Optics，開發(fā)3D光刻系統(tǒng)

導(dǎo)讀：隨著全球芯片的短缺，各大公司正在紛紛尋求新的技術(shù)來現(xiàn)有的危機(jī)，增材制造也是其中一個(gè)選項(xiàng)。

南極熊獲悉，2021年3月30日，Multiphoton Optics GmbH已正式成為Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH的全資子公司。本次收購(gòu)代表了微結(jié)構(gòu)生產(chǎn)和技術(shù)的結(jié)合，進(jìn)一步強(qiáng)化了德國(guó)制造在激光系統(tǒng)領(lǐng)域的研究、開發(fā)和生產(chǎn)。此次合并還擴(kuò)大了公司在微光學(xué)領(lǐng)域的市場(chǎng)地位。

△NanoFrazor Professional

即將擔(dān)任Multiphoton Optics首席執(zhí)行官的Benedikt Stender博士表示，海德堡儀器公司是理想的合作伙伴，合并將使客戶、員工和技術(shù)本身受益。利用海德堡儀器的全球網(wǎng)絡(luò)提高了MPO的知名度，使公司能夠開發(fā)雙光子聚合的新系統(tǒng)，并為越來越多的客戶提供支持。

△用NanoFrazor尖端制成的鋒利的垂直銀電極。精確控制到Pt的距離使原子絲能夠在高頻（100 MHz）和低壓（100 mV）下打開和關(guān)閉。

3D光刻與微光學(xué)領(lǐng)域的擴(kuò)張

Multiphoton Optics（MPO）的員工現(xiàn)已成為激光光刻技術(shù)國(guó)際市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者之一的海德堡儀器家族的一員。海德堡儀器首席執(zhí)行官Konrad Roessler稱，MPO是雙光子光刻技術(shù)的先驅(qū)，已經(jīng)開發(fā)出了用于亞微米級(jí)的3D打印的高性能曝光系統(tǒng)。MPO縮小了傳統(tǒng)激光光刻技術(shù)之間的差距，本次收購(gòu)將會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)大公司在微光學(xué)和結(jié)構(gòu)化表面領(lǐng)域的地位。

△Multiphoton Optics的無(wú)掩模3D光刻技術(shù)可在單個(gè)處理步驟中制造復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。SEM圖像示例性地顯示了為新穎的成像或照明應(yīng)用生成透鏡系統(tǒng)的能力。

目前，MPO專門研究自由3D曲面表面和各種3D結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)，尤其著重于微光學(xué)。研究和開發(fā)重點(diǎn)主要放在雙光子聚合（TPP）的制造過程以及特定應(yīng)用的軟件和硬件模塊上。海德堡儀器公司對(duì)MPO進(jìn)一步開發(fā)3D光刻系統(tǒng)抱有很高的期望，而Multiphoton Optics將獲得新母公司的銷售支持、生產(chǎn)能力和全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。

△使用NanoFrazor圖案化和剝離技術(shù)將高分辨率金屬頂柵準(zhǔn)確地放置在InAs納米線的頂部。

海德堡儀器與半導(dǎo)體行業(yè)

海德堡儀器公司（HIMT）擁有1000多個(gè)已安裝的系統(tǒng)，是開發(fā)和生產(chǎn)高精度光刻系統(tǒng)和納米加工工具的領(lǐng)先國(guó)際廠商之一。HIMT系統(tǒng)已安裝在世界各地的工業(yè)和科學(xué)設(shè)施中。它們可用于有效的直接成像，以及用于多個(gè)領(lǐng)域的光掩模制造，包括半導(dǎo)體、量子計(jì)算、光子學(xué)、2D材料、IoT和許多相關(guān)的應(yīng)用領(lǐng)域。海德堡儀器公司擁有超過35年的經(jīng)驗(yàn)和高度敬業(yè)的開發(fā)人員，可提供針對(duì)微納米加工要求和特定客戶量身定制的復(fù)雜光刻解決方案。

△ULTRA半導(dǎo)體激光掩膜機(jī)

受疫情影響與日益緊張的國(guó)際局勢(shì)，全球的芯片短缺問題給國(guó)內(nèi)外電子工業(yè)領(lǐng)域造成了很大的打擊。南極熊曾在2021年3月31日曾探討過全球芯片短缺是否會(huì)影響3D打�。�http://m.lhkhtyz.com/thread-145526-1-1.html）。結(jié)論是，會(huì)影響，但同時(shí)3D打印技術(shù)或許也會(huì)成為解決方案中的一部分。例如，3DSystems正在試圖通過改進(jìn)晶圓臺(tái)熱管理、歧管流體流優(yōu)化等手段來簡(jiǎn)化、優(yōu)化電子制造。南極熊認(rèn)為，本次的收購(gòu)也同樣代表了增材制造技術(shù)向半導(dǎo)體制造業(yè)的挑戰(zhàn)。

△單個(gè)20nm AuNP的確定性組裝。a）單個(gè)20 nm AuNP陣列的SEM照片。b）具有不同聚集狀態(tài)的20nm AuNPs簇的SEM照片。

海德堡儀器在半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)有著豐富的經(jīng)驗(yàn)。2019年，這家公司曾為中國(guó)光掩膜集團(tuán)提供半導(dǎo)體激光掩模寫入器ULTRA。在2021年，公司的NanoFrazor Scholar熱掃描探針光刻系統(tǒng)成功安裝在了中國(guó)杭州西湖大學(xué)的鄭小睿博士的光電子納米芯片高級(jí)光刻實(shí)驗(yàn)室（ALIEN）中。此外，海德堡儀器的NanoFrazor還在多項(xiàng)科研中作為重要工具提供技術(shù)支持。例如，中國(guó)南京大學(xué)的研究人員成功組裝尺寸小于20納米的功能性顆粒；蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院和亞琛大學(xué)研究人員利用相變材料制成新型超表面。相信未來這家公司生產(chǎn)的儀器還會(huì)為更多科研團(tuán)隊(duì)和整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)帶來更多新的納米電子器件。

△蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院和亞琛大學(xué)研究人員利用相變材料制成新型超表面

關(guān)于Multiphoton Optics

Multiphoton Optics GmbH是從Fraunhofer-Institute硅酸鹽研究ISC獨(dú)立出來的公司，成立于2013年，總部位于維爾茨堡，是通過雙光子聚合（TPP）進(jìn)行3D光刻的全球解決方案提供商。這種技術(shù)可以在微光學(xué)和微系統(tǒng)技術(shù)、光學(xué)互連、微力學(xué)和生物醫(yī)學(xué)工程中制造復(fù)雜的功能結(jié)構(gòu)。

△NANOFRAZOR SCHOLAR

參考閱讀：

1. MERGER OF HEIDELBERG INSTRUMENTS AND MULTIPHOTON OPTICS
2. 全球芯片短缺會(huì)影響3D打印機(jī)嗎
3. CHINESE PHOTOMASK GROUP ORDERS SEMICONDUCTOR LASER MASKWRITER
4. REMOTE INSTALLATION RECORD FOR NANOFRAZOR
5. Deterministic Assembly of Single Sub‐20 nm FunctionalNanoparticles Using a Thermally Modified Template with a Scanning Nanoprobe
6. The Potential of Combining Thermal Scanning Probes andPhase‐Change Materials for Tunable Metasurfaces
7. RAPID PROTOTYPING OF NANOELECTRONIC DEVICES